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一粒米刻有十亿字。国产闪存使用国产半导体设

[电线电缆网]新闻

2019年9月,紫光长江仓储有限公司正式批量生产了全国首个64层酒店的3D闪存,容量为256Gb,并配有TLC芯片。到2020年,长江仓储将进一步提升产能,到年底达到每月60,000个晶圆的水平,是最初产能的10倍。

扩大生产能力意味着购买更多的半导体生产设备。光刻机只能依靠进口,但其他设备预计将增加国内采购。1月2日,SMIC宣布赢得了9台蚀刻机,2019年他们赢得了不少于13台。

蚀刻机是芯片制造中的一种设备。它与光刻机和MOCVD一起被称为半导体生产的三大关键设备。主要用于芯片长度的微雕刻。每条线和深孔的加工精度为毛丝直径的1/1000至1/10000,精度控制要求很高。

例如,一个16纳米的微逻辑器件有60层微结构。它需要1,000多个过程步骤和数万个过程细节来处理。

中国微电子首席执行官尹志尧称之为“在米粒上雕刻200字的普通技能是极限,而我们的等离子刻蚀机在芯片上的加工技术相当于在米粒上雕刻10亿字的水平。”

目前,中国微型半导体的28纳米和16纳米刻蚀机已经进入TSMC供应链。5纳米蚀刻机也已成功开发,并正在TSMC 5纳米生产线上进行测试。这是国内半导体设备的少数突破之一。

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